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釕靶檢測機構

復達檢測可提供相關檢測服務,出具國家資質認可的第三方檢測報告,檢測報告具備法律效益,全國認可。

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釕靶檢測范圍

靶材類型:微電子領域鍍膜用磁控濺射釕靶(單體型、焊接型)、圓形/矩形/異形截面靶材、高純釕靶(純度≥99.995%)、釕鈀合金靶材。

應用領域:半導體濺射靶材、多層陶瓷電容器電極材料、氯堿工業用DSA陽極涂層、有機合成催化劑、氫燃料電池催化劑載體材料、高溫耐蝕結構件、精密電阻合金線材。

釕靶檢測項目

釕靶檢測涵蓋化學成分、物理性能、幾何尺寸及表面質量四大核心維度:

化學成分:主量元素釕(Ru)含量(如≥99.95%)、雜質元素(Ag、Cu、Ni、Fe等)限量分析,氣體雜質(C、N、O、S)含量測定。

物理性能:密度(≥12.10g/cm?)、晶粒度(≤40μm)、內部缺陷(孔隙、裂紋)、熱膨脹系數、磁性參數。

幾何尺寸:外徑、內徑、輪緣寬度、輪槽角度偏差、輪槽寬度公差、軸向竄動量、徑向跳動、同心度偏差。

表面質量:表面粗糙度、平整度、清潔度(無指痕、油污、銹蝕)、鍍層厚度(如釕鍍層0.1-5μm)、涂層附著力。

釕靶檢測標準

國家標準:GB/T 34649-2017《磁控濺射用釕靶》規定了化學成分、尺寸偏差、密度、晶粒度等要求及試驗方法。

行業標準:YS/T 837《濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法》用于焊合率檢測。

國ji標準:ISO 3497:2020《X射線熒光光譜法鍍層厚度測量》適用于表面鍍層分析。

其他標準:GB/T 23275《釕粉化學分析方法》用于雜質元素檢測,GB/T 6394《金屬平均晶粒度測定方法》用于晶粒度評估。

檢測周期

到樣后7-10個工作日(可加急)

檢測流程

1、溝通需求(在線或電話咨詢);

2、寄樣(郵寄樣品支持上門取樣);

3、初檢(根據客戶需求確定具體檢測項目);

4、報價(根據檢測的復雜程度進行報價);

5、簽約(雙方確定--簽訂保密協議);

6、完成實驗(出具檢測報告,售后服務)。

具備CMA質檢報告有哪些作用?

1、產品上市:產品上市前需要提供第三方提供的質檢報告作為合格依據。

2、出口商品檢驗:辦理出口商品檢驗證書時需要提供CMA報告作為證明文件。

3、申報項目:做新產品認定活或申報國家機關單位項目榮譽時需要具備相應的CMA報告或可作為加分項。

4、司法糾紛處理:發生利益糾紛時,CMA報告可作為司法鑒定的有效證明,具備法律效益。